الٽرا هاءِ پيورٽي (UHP) گيسز سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جو جاندار آهن. جيئن ته غير معمولي طلب ۽ عالمي سپلائي زنجيرن ۾ رڪاوٽون الٽرا هاء پريشر گيس جي قيمت کي وڌايو، نئين سيمي ڪنڊڪٽر ڊيزائن ۽ پيداوار جي عملن کي وڌائي رهيا آهن آلودگي ڪنٽرول جي سطح کي گهربل. سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهيندڙن لاءِ، UHP گيس جي پاڪيزگي کي يقيني بڻائڻ جي قابل هجڻ هميشه کان وڌيڪ اهم آهي.

الٽرا هاءِ پيورٽي (UHP) گيسز جديد سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ بلڪل نازڪ آهن

UHP گيس جي مکيه ايپليڪيشنن مان هڪ آهي inertization: UHP گيس استعمال ڪيو ويندو آهي حفاظتي ماحول مهيا ڪرڻ لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر اجزاء جي چوڌاري، ان ڪري انهن کي ماحول ۾ نمي، آڪسيجن ۽ ٻين آلودگي جي نقصانڪار اثرن کان بچائي ٿو. جڏهن ته، inertization صرف ڪيترن ئي مختلف ڪمن مان هڪ آهي جيڪي گيس سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ انجام ڏين ٿا. پرائمري پلازما گيسز کان وٺي رد عمل واري گيسز تائين جيڪي اينچنگ ۽ اينيلنگ ۾ استعمال ٿينديون آهن، الٽرا هاءِ پريشر گيس ڪيترن ئي مختلف مقصدن لاءِ استعمال ٿينديون آهن ۽ سيمي ڪنڊڪٽر سپلائي چين ۾ ضروري هونديون آهن.

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ ڪجهه "بنيادي" گيس شامل آهننائٽروجن(عام صفائي ۽ غير فعال گئس طور استعمال ڪيو ويندو آهي)آرگن(Eching and deposition reactions ۾ پرائمري پلازما گيس طور استعمال ڪيو ويندو آهي)هيليم(خاص گرمي جي منتقلي جي خاصيتن سان گڏ هڪ غير فعال گئس طور استعمال ڪيو ويو) ۽هائيڊروجن(اينيلنگ، جمع ڪرڻ، ايپيٽيڪسي ۽ پلازما جي صفائي ۾ ڪيترائي ڪردار ادا ڪري ٿو).

جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي ترقي ڪئي آهي ۽ تبديل ٿي چڪي آهي، تنهنڪري پيداوار جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ گيس آهن. اڄڪلهه، سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ وارا پلانٽ وڏين گئسن جو استعمال ڪن ٿا، جن ۾ عظيم گيسز جهڙوڪ.ڪريپٽن۽نيونرد عمل واري نسلن جهڙوڪ نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF 3) ۽ ٽنگسٽن هيڪسافلوورائيڊ (WF 6).

پاڪائي جي وڌندڙ طلب

پهرين تجارتي مائڪروچپ جي ايجاد کان وٺي، دنيا سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ڪارڪردگي ۾ حيرت انگيز طور تي ويجهي اضافو ڏٺو آهي. گذريل پنجن سالن ۾، هن قسم جي ڪارڪردگي بهتري حاصل ڪرڻ جو هڪ يقيني طريقو ”سائز اسڪيلنگ“ ذريعي ڪيو ويو آهي: موجوده چپ آرڪيٽيڪچرز جي اهم ماپن کي گھٽائڻ لاءِ ڏنل جاءِ ۾ وڌيڪ ٽرانزسٽرز کي نچوض ڪرڻ لاءِ. ان کان علاوه، نئين چپ آرڪيٽيڪچر جي ترقي ۽ ڪٽڻ واري مواد جي استعمال کي ڊوائيس جي ڪارڪردگي ۾ ليپ پيدا ڪيو آهي.

اڄ، جديد سيمي ڪنڊڪٽرز جا نازڪ طول و عرض هاڻي ايترا ننڍا آهن جو ماپ اسڪيلنگ هاڻي ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي بهتر ڪرڻ لاء هڪ قابل عمل طريقو ناهي. ان جي بدران، سيمي ڪنڊڪٽر محقق ناول مواد ۽ 3D چپ آرڪيٽيڪچر جي صورت ۾ حل ڳولي رهيا آهن.

ڏهاڪن جي بي انتها نئين ڊيزائن جو مطلب آهي اڄ جي سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيس پراڻين مائڪروچپس کان تمام گهڻي طاقتور آهن - پر اهي پڻ وڌيڪ نازڪ آهن. 300mm ويفر فيبريڪيشن ٽيڪنالاجي جي اچڻ سان سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ گهربل ناپاڪ ڪنٽرول جي سطح وڌي وئي آهي. جيتوڻيڪ پيداوار جي عمل ۾ معمولي آلودگي (خاص طور تي ناياب يا غير فعال گيس) تباهه ڪندڙ سامان جي ناڪامي جو سبب بڻجي سگهي ٿي - تنهنڪري گئس جي پاڪائي هاڻي هميشه کان وڌيڪ اهم آهي.

هڪ عام سيميڪنڊڪٽر فيبريڪيشن پلانٽ لاءِ، الٽرا هاءِ-پيئرٽي گيس اڳ ۾ ئي سڀ کان وڏو مادي خرچ آهي سلکان کان پوءِ. اهي قيمتون صرف وڌڻ جي توقع ڪئي وئي آهي جيئن سيمي ڪنڊڪٽرز جي گهرج نئين اونچين ڏانهن وڌي ٿي. يورپ ۾ واقعن سبب سخت الٽرا هاء پريشر قدرتي گئس مارڪيٽ ۾ اضافي رڪاوٽ پيدا ڪئي آهي. يوڪرين دنيا جي سڀ کان وڏي برآمد ڪندڙ ملڪن مان هڪ آهينيوننشانيون روس جي حملي جو مطلب آهي ناياب گئس جي فراهمي کي محدود ڪيو پيو وڃي. انهي جي نتيجي ۾ ٻين عظيم گيس جي گهٽتائي ۽ اعلي قيمتون جهڙوڪڪريپٽن۽xenon.