الٽرا هاءِ پيوريٽي (UHP) گيسون سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي جان آهن. جيئن ته عالمي سپلائي چين ۾ بي مثال طلب ۽ رڪاوٽون الٽرا هاءِ پريشر گيس جي قيمت کي وڌائي رهيون آهن، نئين سيمي ڪنڊڪٽر ڊيزائن ۽ پيداوار جا طريقا آلودگي ڪنٽرول جي سطح کي وڌائي رهيا آهن جنهن جي ضرورت آهي. سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهيندڙن لاءِ، UHP گيس جي پاڪائي کي يقيني بڻائڻ جي قابل هجڻ اڳ کان وڌيڪ اهم آهي.

جديد سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ الٽرا هاءِ پيورٽي (UHP) گيسون بلڪل اهم آهن.

UHP گيس جي مکيه استعمالن مان هڪ آهي انرٽائيزيشن: UHP گيس کي سيمي ڪنڊڪٽر حصن جي چوڌاري حفاظتي ماحول فراهم ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، ان ڪري انهن کي فضا ۾ نمي، آڪسيجن ۽ ٻين آلودگي جي نقصانڪار اثرن کان بچائيندو آهي. بهرحال، انرٽائيزيشن صرف ڪيترن ئي مختلف ڪمن مان هڪ آهي جيڪي گيس سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ انجام ڏين ٿا. پرائمري پلازما گيس کان وٺي ايچنگ ۽ اينيلنگ ۾ استعمال ٿيندڙ رد عمل واري گيس تائين، الٽرا هاءِ پريشر گيس ڪيترن ئي مختلف مقصدن لاءِ استعمال ٿينديون آهن ۽ سيمي ڪنڊڪٽر سپلائي چين ۾ ضروري آهن.

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ ڪجهه "بنيادي" گيسن ۾ شامل آهننائٽروجن(عام صفائي ۽ غير فعال گئس طور استعمال ڪيو ويندو آهي)،آرگن(ايچنگ ۽ جمع ڪرڻ جي رد عمل ۾ بنيادي پلازما گئس طور استعمال ڪيو ويندو آهي)،هيليم(خاص گرمي جي منتقلي جي خاصيتن سان هڪ غير فعال گئس طور استعمال ڪيو ويندو آهي) ۽هائيڊروجن(اينيلنگ، ڊپوزيشن، ايپيٽيڪسي ۽ پلازما صفائي ۾ ڪيترائي ڪردار ادا ڪري ٿو).

جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي ترقي ڪئي آهي ۽ تبديل ٿي آهي، انهي ڪري پيداوار جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ گيسون به تبديل ٿيون آهن. اڄ، سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ وارا پلانٽ گيسن جي وسيع رينج استعمال ڪن ٿا، جن ۾ نوبل گيسون جهڙوڪڪرپٽن۽نيونرد عمل وارين نسلن جهڙوڪ نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF 3) ۽ ٽنگسٽن هيڪسافلوورائيڊ (WF 6) ڏانهن.

پاڪائي جي وڌندڙ گهرج

پهرين ڪمرشل مائڪروچپ جي ايجاد کان وٺي، دنيا سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي ڪارڪردگي ۾ هڪ حيرت انگيز طور تي تقريبن تيزيءَ سان واڌ ڏٺي آهي. گذريل پنجن سالن ۾، هن قسم جي ڪارڪردگي بهتري حاصل ڪرڻ جو هڪ يقيني طريقو "سائيز اسڪيلنگ" ذريعي رهيو آهي: موجوده چپ آرڪيٽيڪچر جي اهم طول و عرض کي گهٽائڻ ته جيئن وڌيڪ ٽرانزسٽر هڪ ڏنل جاءِ ۾ نچوڙجي سگهن. ان کان علاوه، نئين چپ آرڪيٽيڪچر جي ترقي ۽ جديد مواد جي استعمال ڊوائيس جي ڪارڪردگي ۾ ٽپو ڏنو آهي.

اڄ، جديد سيمي ڪنڊڪٽرز جا نازڪ طول و عرض هاڻي ايترا ننڍا آهن جو سائيز اسڪيلنگ هاڻي ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ جو هڪ قابل عمل طريقو ناهي. ان جي بدران، سيمي ڪنڊڪٽر محقق ناول مواد ۽ 3D چپ آرڪيٽيڪچر جي صورت ۾ حل ڳولي رهيا آهن.

ڏهاڪن جي اڻٿڪ ٻيهر ڊيزائن جو مطلب آهي ته اڄ جا سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز پراڻين مائڪروچپس کان گهڻو وڌيڪ طاقتور آهن - پر اهي وڌيڪ نازڪ پڻ آهن. 300 ايم ايم ويفر فيبريڪيشن ٽيڪنالاجي جي آمد سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ گهربل نجاست ڪنٽرول جي سطح کي وڌايو آهي. پيداوار جي عمل ۾ معمولي آلودگي (خاص طور تي نادر يا غير فعال گيس) به تباهي واري سامان جي ناڪامي جو سبب بڻجي سگهي ٿي - تنهنڪري گئس جي پاڪائي هاڻي اڳ کان وڌيڪ اهم آهي.

هڪ عام سيمي ڪنڊڪٽر فيبريڪيشن پلانٽ لاءِ، الٽرا هاءِ پيورٽي گيس اڳ ۾ ئي سلڪون کان پوءِ سڀ کان وڏو مادي خرچ آهي. انهن قيمتن ۾ صرف ان وقت واڌ جي اميد آهي جڏهن سيمي ڪنڊڪٽرز جي طلب نئين بلندين تائين وڌي ويندي. يورپ ۾ واقعن سخت الٽرا هاءِ پريشر قدرتي گئس مارڪيٽ ۾ اضافي خلل پيدا ڪيو آهي. يوڪرين دنيا جي اعليٰ پيورٽي جي سڀ کان وڏي برآمد ڪندڙن مان هڪ آهي.نيوننشانيون؛ روس جي حملي جو مطلب آهي ته ناياب گئس جي فراهمي محدود ٿي رهي آهي. ان جي نتيجي ۾ ٻين عظيم گئسن جي کوٽ ۽ قيمتون وڌيون جهڙوڪڪرپٽن۽زينون.