الٽرا هاء پاڪائي (يو ايڇ پي) گئنيس سيمڪنڊيٽرڪ انڊسٽريز جو لائف بلڊ آهي. جئين بي مثال مطالبو ۽ عالمي سپلائي جي زلزلي تي رڪاوٽون الٽرا ونڊر گيس جي قيمت تي زور ڀريو، نئين سيمڪنڊيٽرٽرز جي قيمت کي آلودگي جي ڪنٽرول جي سطح وڌائي ٿي. سيمڪونڊيڪٽر ٺاهيندڙن لاء، يقيني طور تي يو ايڇ پي گئس جي پاڪائي کي يقيني بڻائڻ جي قابل هجڻ جي قابل آهي.

الٽرا هاء پاڪائي (UHP) گئس جديد سيمڪنڊيٽرڪٽر ٺاهڻ ۾ بلڪل نازڪ آهن

يو ايڇ پي گئس جي بنيادي ايپليڪيشنن مان هڪ آهي: يو ايڇ پي گيس سيمڪنڊيٽرڪٽرس اجزاء جي چوڌاري حفاظتي ماحول فراهم ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي، انهي سان فضا ۾ هڪ فضا ۾ حفاظتي اثرن کان بچائي ويندي آهي. بهرحال، انتشار صرف ڪيترن ئي مختلف افعالن مان هڪ آهي جيڪو سيمڪنڊيٽرڪ انڊسٽري ۾ پرفارم ڪري ٿو. پرائمري پلازما گيسن مان استعمال ٿيندڙ گيسز کي رد ڪرڻ لاء، الٽرا-وڏي دٻاء واري گيسن ۾

سيمڪنڊيٽر انڊسٽري ۾ ڪجهه "بنيادي" گيس شامل آهننائٽروجن(عام صفائي ۽ انرٽ گيس طور استعمال ٿيندو آهي)،تعگنبو(تيز رفتار ۽ ادائيگي جي رد عملن ۾ بنيادي پلازما گئس طور استعمال ٿيندو آهي)،هيليم(خاص گرمي جي منتقلي ملڪيت سان گڏ هڪ انرٽ گئس طور استعمال ٿيندو آهي) ۽هجرت(اينگلنگ، جمع ڪرائڻ، ايپيٽيسيسي ۽ پلازما صفائي ۾ ڪيترائي ڪردار ادا ڪري ٿو).

جئين سيمڪنڊيٽر ٽيڪنالاجي ترقي ڪئي آهي ۽ تبديل ٿي چڪو آهي، تنهن ڪري پيداوار جي عمل ۾ استعمال ٿيل گئس آهن. ا، سيمڪسوڊيڪٽر ٺاهڻ وارا ٻوٽا گيسز جي هڪ وڏي تعداد ۾ گيسن جي گيسن جو استعمال ڪندا آهن، جيئن ته عظيم گيسن کانڪرپٽن۽جڻنرد عمل وارن قسمن جهڙوڪ نائٽروجن ٽريلائڊ (اين ايف 3) ۽ ٽنگسين هيڪسفيلائڊ (WFF 6).

پاڪائي جي وڌندڙ طلب

پهرين تجارتي مائڪروچپ جي ايجاد کان وٺي، دنيا سيمڪنڊيٽرٽر ڊوائيسز جي ڪارڪردگي ۾ هڪ حيرت انگيز واڌ ويجهه آهي. گذريل پنجن سالن دوران، هن قسم جي ڪارڪردگي کي حاصل ڪرڻ لاء هڪ اعلي طريقا "سائيز اسڪيلنگ" ذريعي آهي: موجوده چپکرز جي اهم طول و عرض کي دٻائڻ جي لاء ڪيچ ڊيسڪچرز کي دٻائي ڇڏيو آهي. ان کان علاوه، نئين چپ جي اڏاوتن جي ترقي ۽ ڪٽڻ واري مواد جو استعمال ڊوائيس جي ڪارڪردگي ۾ موجود آهي.

ا،، ڪٽڻ واري سيمينوڊونس جي نازڪ طول و عرض هاڻي ايتري نن small ا آهن ته سائيز اسڪيلنگ ڊيوائس جي ڪارڪردگي بهتر ڪرڻ جو ڪو به قابل طريقو ناهي. ان جي بدران، سيمڪسوڊولر محققن ناول مواد ۽ 3D چپ جي فنڪشن جي صورت ۾ حل ڳولي رهيا آهن.

بي انتسس ريڊريشن جو ڏهاڙو ا today's جي سيمڪنڊيٽر ڊوائيسز پراڻي جي مائڪروچپس کان وڌيڪ طاقتور آهن - پر اهي به وڌيڪ نازڪ آهن. 300mm Viferfuresfurestation ٽيڪنالاجي کي سيمڪنڊيٽرڪٽر ٺاهڻ لاء گهربل ڪنٽرول جي سطح جي سطح تي محدود آهي. ايستائين جو ٺاهيل عمل ۾ نن enjo ڙو آلودگي (خاص طور تي نادر يا غير معمولي گيسز) تباهه ٿي سگهي ٿو. تنهنڪري گئس جي پاڪائي هاڻي کان وڌيڪ اهم آهي.

هڪ عام سيمڪنڊيٽرڪٽرڪ پلانٽنگ پلانٽ، الٽرا هاء-هاء پاڪائي گئس اڳ ۾ ئي سڀ کان وڏو مواد آهي سلکن کانپوء. اهي قيمتون صرف نون بلندين کي سورن جي طلب جي طور تي واڌايون آهن. يورپ ۾ تقريبون سخت الٽرا هاء پريشر قدرتي گئس مارڪيٽ ۾ اضافي خلل پيدا ڪيون آهن. يوڪرين جي دنيا جي اعلي برآمد ڪندڙن مان هڪ آهيجڻننشانيون؛ روس جي حملي جو مطلب آهي ناياب گئس جي فراهمي کي محدود ڪيو پيو وڃي. هي موڙ ۾ گهٽتائي ۽ ٻين نوبل گيسز جا گهٽ قيمتونڪرپٽن۽زينت.