بورون ٽرائڪلورائڊ (BCl3)هڪ غير نامياتي مرڪب آهي جيڪو عام طور تي خشڪ ايچنگ ۽ ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ (CVD) عملن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ استعمال ٿيندو آهي. اهو هڪ بي رنگ گئس آهي جنهن ۾ ڪمري جي حرارت تي هڪ مضبوط تيز بوءِ هوندي آهي ۽ نم هوا لاءِ حساس آهي ڇاڪاڻ ته اهو هائيڊولائيز ڪري هائيڊروڪلورڪ ايسڊ ۽ بورڪ ايسڊ پيدا ڪري ٿو.

بورون ٽرائڪلورائڊ جا استعمال

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾،بورون ٽرائڪلورائڊخاص طور تي ايلومينيم جي خشڪ ايچنگ لاءِ ۽ سلڪون ويفرز تي پي-قسم جا علائقا ٺاهڻ لاءِ ڊوپنٽ طور استعمال ڪيو ويندو آهي. اهو GaAs، Si، AlN جهڙن مواد کي ايچ ڪرڻ لاءِ ۽ ڪجهه مخصوص ايپليڪيشنن ۾ بورون ذريعو طور پڻ استعمال ڪري سگهجي ٿو. ان کان علاوه، بورون ٽرائڪلورائڊ وڏي پيماني تي ڌاتو پروسيسنگ، شيشي جي صنعت، ڪيميائي تجزيي ۽ ليبارٽري تحقيق ۾ استعمال ٿيندو آهي.

بورون ٽرائڪلورائڊ جي حفاظت

بورون ٽرائڪلورائڊزنگ آلود ۽ زهريلو آهي ۽ اکين ۽ چمڙي کي سخت نقصان پهچائي سگهي ٿو. اهو نم هوا ۾ هائيڊولائيز ڪري زهريلي هائيڊروجن ڪلورائڊ گيس خارج ڪري ٿو. تنهن ڪري، هٿ ڪرڻ وقت مناسب حفاظتي اپاءَ وٺڻ جي ضرورت آهي.بورون ٽرائڪلورائڊ، جنهن ۾ حفاظتي لباس، چشما ۽ ​​تنفس جي حفاظت جو سامان پائڻ، ۽ سٺي هوادار ماحول ۾ ڪم ڪرڻ شامل آهن.