ايپيٽيڪسيل (واڌ)ملايو گيs

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾، احتياط سان چونڊيل سبسٽريٽ تي ڪيميائي بخارات جي جمع ذريعي مواد جي هڪ يا وڌيڪ تہن کي وڌائڻ لاءِ استعمال ٿيندڙ گئس کي ايپيٽيڪسيل گئس سڏيو ويندو آهي.

عام طور تي استعمال ٿيندڙ سلڪون ايپيٽيڪسيل گيسن ۾ ڊائڪلوروسيلين، سلڪون ٽيٽرا ڪلورائڊ ۽ شامل آهن.سائلين. بنيادي طور تي ايپيٽيڪسيل سلڪون جمع ڪرڻ، سلڪون آڪسائيڊ فلم جمع ڪرڻ، سلڪون نائٽرائڊ فلم جمع ڪرڻ، شمسي سيلز ۽ ٻين فوٽو ريسيپٽرز لاءِ بي شڪل سلڪون فلم جمع ڪرڻ وغيره لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي. ايپيٽيڪسي هڪ اهڙو عمل آهي جنهن ۾ هڪ واحد ڪرسٽل مواد جمع ڪيو ويندو آهي ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي وڌايو ويندو آهي.

ڪيميائي وانپ جمع (سي وي ڊي) مخلوط گئس

سي وي ڊي ڪجهه عنصرن ۽ مرڪبن کي گئس فيز ڪيميائي رد عملن ذريعي جمع ڪرڻ جو هڪ طريقو آهي جيڪو غير مستحڪم مرکبات استعمال ڪندي آهي، يعني، گئس فيز ڪيميائي رد عملن کي استعمال ڪندي فلم ٺاهڻ جو طريقو. ٺهيل فلم جي قسم تي منحصر ڪري، استعمال ٿيندڙ ڪيميائي بخار جمع (سي وي ڊي) گئس پڻ مختلف آهي.

ڊوپنگمخلوط گئس

سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ۽ انٽيگريٽڊ سرڪٽس جي تياري ۾، ڪجهه نجاستن کي سيمي ڪنڊڪٽر مواد ۾ ڊوپ ڪيو ويندو آهي ته جيئن مواد کي گهربل چالکائي جو قسم ۽ مزاحمت، پي اين جنڪشن، دفن ٿيل پرتون، وغيره ٺاهڻ لاءِ هڪ خاص مزاحمت ملي سگهي. ڊوپنگ جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ گئس کي ڊوپنگ گئس سڏيو ويندو آهي.

بنيادي طور تي آرسين، فاسفائن، فاسفورس ٽرائي فلورائيڊ، فاسفورس پينٽافلوورائيڊ، آرسينڪ ٽرائي فلورائيڊ، آرسينڪ پينٽافلوورائيڊ، شامل آهن.بوران ٽرائي فلورائيڊ، ڊائيبورن، وغيره.

عام طور تي، ڊوپنگ سورس کي ڪيريئر گيس (جهڙوڪ آرگن ۽ نائٽروجن) سان سورس ڪيبنٽ ۾ ملايو ويندو آهي. ملائڻ کان پوءِ، گئس جو وهڪرو مسلسل ڊفيوژن فرنس ۾ داخل ڪيو ويندو آهي ۽ ويفر کي گهيرو ڪندو آهي، ويفر جي مٿاڇري تي ڊوپنٽ جمع ڪندو آهي، ۽ پوءِ سلڪون سان رد عمل ڪندي ڊوپڊ ڌاتو پيدا ڪندو آهي جيڪي سلڪون ۾ منتقل ٿين ٿا.

نقاشيگئس جو مرکب

ايچنگ جو مطلب آهي پروسيسنگ مٿاڇري (جهڙوڪ ڌاتو فلم، سلڪون آڪسائيڊ فلم، وغيره) کي فوٽو ريزسٽ ماسڪنگ کان سواءِ سبسٽريٽ تي ايچ ڪرڻ، جڏهن ته فوٽو ريزسٽ ماسڪنگ سان علائقي کي محفوظ رکڻ، ته جيئن سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي گهربل تصويري نمونو حاصل ڪري سگهجي.

ايچنگ طريقن ۾ ويٽ ڪيميڪل ايچنگ ۽ ڊري ڪيميڪل ايچنگ شامل آهن. ڊري ڪيميڪل ايچنگ ۾ استعمال ٿيندڙ گئس کي ايچنگ گيس چيو ويندو آهي.

ايچنگ گئس عام طور تي فلورائيڊ گئس (هالائيڊ) هوندي آهي، جهڙوڪڪاربان ٽيٽرافلوورائيڊ، نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ، ٽرائي فلورو ميٿين، هيڪسافلوورو ايٿين، پرفلووروپروپين، وغيره.