خاص گيسونعام کان مختلفصنعتي گئسونانهي ۾ ته انهن جا خاص استعمال آهن ۽ مخصوص شعبن ۾ لاڳو ٿين ٿا. انهن جي پاڪائي، نجاست جي مواد، ساخت، ۽ جسماني ۽ ڪيميائي ملڪيتن لاءِ مخصوص گهرجون آهن. صنعتي گيسن جي مقابلي ۾، خاص گيسن مختلف قسمن ۾ وڌيڪ متنوع آهن پر انهن جي پيداوار ۽ وڪرو جي مقدار گهٽ آهي.

جيمخلوط گئسون۽معياري ڪيليبريشن گيسزاسان عام طور تي استعمال ڪندا آهيون خاص گيسن جا اهم جزا. مخلوط گيسن کي عام طور تي عام مخلوط گيسن ۽ اليڪٽرانڪ مخلوط گيسن ۾ ورهايو ويندو آهي.

عام مخلوط گيسن ۾ شامل آهن:ليزر ملايو گيس، اوزار جي ڳولا واري مخلوط گئس، ويلڊنگ مخلوط گئس، بچاءُ مخلوط گئس، برقي روشني جو ذريعو مخلوط گئس، طبي ۽ حياتياتي تحقيق مخلوط گئس، جراثيم ڪش ۽ نسبندي مخلوط گئس، اوزار الارم مخلوط گئس، هاءِ پريشر مخلوط گئس، ۽ صفر گريڊ هوا.

اليڪٽرانڪ گيس جي مرکبن ۾ ايپيٽيڪسيل گيس مرکب، ڪيميائي بخار جمع ڪرڻ واري گيس مرکب، ڊوپنگ گيس مرکب، ايچنگ گيس مرکب، ۽ ٻيا اليڪٽرانڪ گيس مرکب شامل آهن. اهي گيس مرکب سيمي ڪنڊڪٽر ۽ مائڪرو اليڪٽرانڪس صنعتن ۾ هڪ لازمي ڪردار ادا ڪن ٿا ۽ وڏي پيماني تي انٽيگريٽڊ سرڪٽ (LSI) ۽ تمام وڏي پيماني تي انٽيگريٽڊ سرڪٽ (VLSI) جي پيداوار ۾، انهي سان گڏ سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيس جي پيداوار ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندا آهن.

5 قسم جون اليڪٽرانڪ مخلوط گيسون سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿينديون آهن

ڊوپنگ مخلوط گئس

سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ۽ انٽيگريٽيڊ سرڪٽس جي تياري ۾، ڪجهه نجاستن کي سيمي ڪنڊڪٽر مواد ۾ داخل ڪيو ويندو آهي ته جيئن گهربل چالکائي ۽ مزاحمت پيدا ٿئي، جنهن سان مزاحمت ڪندڙ، پي اين جنڪشن، دفن ٿيل پرتون ۽ ٻيا مواد تيار ٿي سگهن ٿا. ڊوپنگ جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ گيسن کي ڊوپنٽ گيسن چيو ويندو آهي. انهن گيسن ۾ بنيادي طور تي آرسين، فاسفائن، فاسفورس ٽرائي فلورائيڊ، فاسفورس پينٽافلوورائيڊ، آرسينڪ ٽرائي فلورائيڊ، آرسينڪ پينٽافلوورائيڊ، شامل آهن.بوران ٽرائي فلورائيڊ، ۽ ڊائيبورن. ڊوپينٽ ذريعو عام طور تي هڪ ڪيريئر گيس (جهڙوڪ آرگن ۽ نائٽروجن) سان هڪ ذريعو ڪابينا ۾ ملايو ويندو آهي. پوءِ مخلوط گئس کي مسلسل هڪ ڊفيوژن فرنس ۾ داخل ڪيو ويندو آهي ۽ ويفر جي چوڌاري گردش ڪندو آهي، ڊوپينٽ کي ويفر جي مٿاڇري تي جمع ڪندو آهي. پوءِ ڊوپينٽ سلڪون سان رد عمل ڪري هڪ ڊوپينٽ ڌاتو ٺاهيندو آهي جيڪو سلڪون ۾ منتقل ٿيندو آهي.

ايپيٽيڪسيل واڌ گيس جو مرکب

ايپيٽيڪسيل واڌ هڪ واحد ڪرسٽل مواد کي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪرڻ ۽ وڌائڻ جو عمل آهي. سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾، احتياط سان چونڊيل سبسٽريٽ تي ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن (CVD) استعمال ڪندي مواد جي هڪ يا وڌيڪ پرتن کي وڌائڻ لاءِ استعمال ٿيندڙ گيسن کي ايپيٽيڪسيل گيس سڏيو ويندو آهي. عام سلڪون ايپيٽيڪسيل گيسن ۾ ڊاءِ هائيڊروجن ڊائڪلوروسيلين، سلڪون ٽيٽرا ڪلورائڊ، ۽ سائلين شامل آهن. اهي بنيادي طور تي ايپيٽيڪسيل سلڪون ڊپوزيشن، پولي ڪرسٽل لائن سلڪون ڊپوزيشن، سلڪون آڪسائيڊ فلم ڊپوزيشن، سلڪون نائٽرائڊ فلم ڊپوزيشن، ۽ شمسي سيلز ۽ ٻين فوٽو حساس ڊوائيسز لاءِ بي شڪل سلڪون فلم ڊپوزيشن لاءِ استعمال ٿيندا آهن.

آئن امپلانٽيشن گيس

سيمي ڪنڊڪٽر ڊيوائس ۽ انٽيگريٽيڊ سرڪٽ جي پيداوار ۾، آئن امپلانٽيشن جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ گيسن کي گڏيل طور تي آئن امپلانٽيشن گيسن چيو ويندو آهي. آئنائيزڊ نجاست (جهڙوڪ بوران، فاسفورس، ۽ آرسينڪ آئن) کي سبسٽريٽ ۾ امپلانٽ ڪرڻ کان اڳ تيز توانائي جي سطح تي تيز ڪيو ويندو آهي. آئن امپلانٽيشن ٽيڪنالاجي کي حد وولٽيج کي ڪنٽرول ڪرڻ لاءِ سڀ کان وڌيڪ استعمال ڪيو ويندو آهي. امپلانٽيشن نجاست جي مقدار کي آئن بيم ڪرنٽ کي ماپڻ سان طئي ڪري سگهجي ٿو. آئن امپلانٽيشن گيسن ۾ عام طور تي فاسفورس، آرسينڪ، ۽ بوران گيسن شامل آهن.

ايچنگ ملايو گئس

ايچنگ پروسيس ٿيل مٿاڇري (جهڙوڪ ڌاتو فلم، سلڪون آڪسائيڊ فلم، وغيره) کي سبسٽريٽ تي ايچ ڪرڻ جو عمل آهي جيڪو فوٽو ريزسٽ طرفان نقاب نه ڪيو ويو آهي، جڏهن ته فوٽو ريزسٽ پاران نقاب ٿيل علائقي کي محفوظ ڪيو ويندو آهي، ته جيئن سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي گهربل تصويري نمونو حاصل ڪري سگهجي.

ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ واري گئس جو مرکب

ڪيميائي بخار جمع ڪرڻ (CVD) هڪ واحد مادو يا مرڪب کي بخار-مرحلي ڪيميائي رد عمل ذريعي جمع ڪرڻ لاءِ غير مستحڪم مرکبات استعمال ڪندو آهي. هي هڪ فلم ٺاهڻ جو طريقو آهي جيڪو بخار-مرحلي ڪيميائي رد عمل کي استعمال ڪندو آهي. استعمال ٿيندڙ CVD گيسون فلم جي قسم تي منحصر ڪري مختلف هونديون آهن جيڪي ٺهيل آهن.