سيمينٽ لينڊ ڪفر جي پيداوار جي پيداوار ۾ نسبتا ترقي يافته پيداوار جي عملن سان، تقريبن 50 مختلف قسم جا گئس گهربل آهن. عام طور تي گئسون وڏي تعداد ۾ ورهايل آهن ۽خاص گيسز.

مائڪرو چيٽريڪچرڪکتن ۾ گزالين جي اپبيڪيشن سيميٽرڪشنز جو استعمال سيميڊوڊرٽر پروسيس ۾ هڪ اهم ڪردار ادا ڪيو آهي، خاص طور تي سيمڪسوڊ ڪٽررز ۾ هڪ اهم ڪردار ادا ڪيو آهي. ايليسي، TFT-LCD کان موجوده مائڪرو بريسيڪل (ميسن) انڊسٽريز تائين، سيمڪنڊيٽرس پروسيسز، آڪسائيڊشن، آڪسينشن، آڪسينشن، آڪسينشن، وغيره. وغيره.

مثال طور، ڪيترائي ماڻهو know اڻن ٿا ته چپس جو ٺهيل آهي، پر چپ جي پيداوار جي پوري عمل، جيئن ته فوٽو ٺاهيل، خاص گيس، خاص گئس، خاص گئس، چمڪندڙ مواد واپس پيڪنگنگ پيڪنگنگ پڻ سبزٽيز، مداخلت ڪندڙ، ليڊ فريم، بانڊنگ مواد، بانڊنگ مواد، بانڊنگ مواد. اليڪٽرانڪ اسپيشل گيسس سلڪونز وينڊرز ۾ سلڪون وينڊرز ۾ ٻئي وڏا وڏا مواد آهن، ماسڪ ۽ فوٽوگرافي جي پٺيان.

گئس جي پاڪائي جزو ۽ پراڊڪٽ جي پيداوار تي فيصلو ڪندڙ اثر آهي، ۽ گئس جي فراهمي جي حفاظت ۽ فيڪٽري آپريشن جي حفاظت سان لاڳاپيل آهي. گيس جي پاڪائي ڇو آهي پروسيس لائن ۽ اهلڪارن تي هڪ عظيم اثر؟ هي هڪ مبالغو ناهي، پر گئس جي خطرناڪ خاصيتن جي طرفان طئي ٿيل آهي.

سيمڪنڊيٽر انڊسٽري ۾ عام گيسن جي درجه بندي

عام گئس

عام گئس پڻ وڏي گئس پڻ سڏي ٿي: اهو صنعتي گئس کي 5n ۽ وڪري جي ضرورت کان گهٽ آهي. اهو ايئر علحدگي گيس ۽ مصنوعي گئس ۾ مختلف تيارين جي طريقن مطابق ورهائي سگهجي ٿو. هائيڊروجن (H2)، نائٽروجن (N2)، آڪسيجن (O2)، ارجن (A2)، وغيره.

خاص گئس

خاص گيس صنعتي گئس جو حوالو ڏئي ٿو جيڪو خاص شعبن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي ۽ پاڪائي، مختلف ضرورتن ۽ ملڪيت جي خاص ضرورت آهي. بنيادي طور تيSAH4، پي ايڇ 3، B2H6، A8h3،هاڻو، CF4،اين ايڇ 3، POCL3، SAHH2CL2، Sihl3،اين ايڇ 3, BCL3، sif4، CIF3، C8F، C2F6، N2O، F2، HB.SF6… ۽ ايئن.

اسپيڪي گيسز جا قسم

خاص گيسز جا قسم: قمري، ٻرندڙ، ٻرندڙ، ٻرندڙ سپورٽ، انرٽ وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره وغيره.
عام طور تي استعمال ٿيل سيمڪنڊيٽر گيسز جي درجه بندي ڪئي وئي آهي.
(i) قميص / زهريلو:هاڻو، BF3، WF6، HBR، SHH2cl2، NH3، پي ايڇ 3، CL2،BCL3...
(ii) ٻرندڙ: H2،C4!SAH4، پي ايڇ 3، ASH3، Sihh3، B2H6، C2F2، CH3F، CO ... CO
(iii) ٻرندڙ: O2، CL2، N2O، NF3 ...
(iv) انرٽ: اين 2،سي ايف 4، C2F6،C4F8!SF6، CO2،Ne!Kr، هن ...

سيمينوڊيوٽرڪ چپ ٺاهڻ جي عمل ۾، خاص قسم جي خاص گيسن جي خاص قسم (خاص گيسن جي طور تي) اختتام، postolithogogogogogys ۽ ٻين عملن ۾ استعمال ڪيا ويا آهن، ۽ ڪل پروسيس. مثال طور، پيل 3 ۽ ايئن جي فصلن ۾ فاسفورس ۽ اي آر ايس ايس اي سي ايف سي اي، C2، NHO / NO، NWOS / NO، NHOS / NEROGYORY ۾ استعمال ڪيو ويو آهي.

مٿين پهلوئن کان، اسان اهو سمجهي سگهون ٿا ته ڪيترائي سيمڪنڊو گيسز انساني جسم لاء نقصانڪار آهن. خاص طور تي، ڪجهه گئسون، جهڙوڪ SAH4، پاڻ کي نظرانداز ڪري رهيا آهن. جيستائين اهي لڪي وڃن، اهي هوا ۾ آڪسيجن سان تشدد سان رد عمل ظاهر ڪندا. ۽ اشارا تمام گهڻو زهر آهي. ڪنهن به نن a ڙي ليکڪ ماڻهن جي زندگين کي نقصان پهچائي سگھي ٿو، تنهن ڪري خاص گيسز جي استعمال لاء ڪنٽرول سسٽم جي ڊزائن جي حفاظت لاء خاص ضرورتون خاص طور تي اعلي آهن.

سيمڪونڊرن کي "ٽي درجا" جي اعلي پاڪائي گيسن جي ضرورت آهي

گڌ جو ماڙي

گئس ۾ ناجائز ماحول جو مواد عام طور تي گئس جي پاڪائي جو سيڪڙو بيان ڪيو ويندو آهي، جهڙوڪ 99.9999٪. عام طور تي ڳالهيون، اليڪٽرانڪ خاص خاص خاص گيسن جي ضرورت آهي، ۽ مڪمل طور تي ماحولياتي مواد جي تناسب تي مشتمل آهي، ۽ مڪمل طور تي حياتياتي مواد (حصو)، پي پي بي (حصو). اليڪٽرانڪ سيمڪنڊيٽرڊ فيلڊ کي خاص گيسن جي پاڪائي ۽ معيار جي استحڪام جي اعلي ضرورت آهي، ۽ اليڪٽرانڪ خاص خاص گيسن جي پاڪائي آهي.

خشڪ

گئس، يا گئس ۾ پاڻي جي پيچيدگي جو مواد، عام طور تي اوس پوائنٽ ۾ ظاهر ڪيو ويندو آهي، جهڙوڪ ايٽميٽ اوس پوائنٽ -70 ℃ .70

صفائي

گئس، ذرات جي ذرات جو تعداد، ذرات جو ذرات μm جي هڪ ذرات جي سائيز سان، اظهار ڪيو ويو آهي ته ڪيترا ذرات / M3. دٻيل هوا لاء، اهو عام طور تي غير معقول مضبوط رهائشي جي ايم اي 3 ۾ اظهار ڪيو ويندو آهي، جنهن ۾ تيل جو مواد شامل آهي.