نسبتا ترقي يافته پيداوار جي عمل سان سيمي ڪنڊڪٽر ويفر فاؤنڊريز جي پيداوار جي عمل ۾، تقريبن 50 مختلف قسم جي گيس جي ضرورت هوندي آهي. گيسس عام طور تي بلڪ گيس ۾ ورهايل آهن ۽خاص گيس.

مائڪرو اليڪٽرونڪس ۽ سيمي ڪنڊڪٽر صنعتن ۾ گيس جو استعمال گيس جو استعمال هميشه سيمي ڪنڊڪٽر جي عملن ۾ اهم ڪردار ادا ڪيو آهي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس مختلف صنعتن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندا آهن. ULSI، TFT-LCD کان موجوده مائڪرو اليڪٽروميڪينيڪل (MEMS) انڊسٽري تائين، سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس پراڊڪٽ جي پيداوار جي عملن جي طور تي استعمال ٿيندا آهن، جن ۾ خشڪ ايچنگ، آڪسائيڊشن، آئن امپلانٽيشن، پتلي فلم جمع وغيره شامل آهن.

مثال طور، ڪيترن ئي ماڻهن کي خبر آهي ته چپس ريل مان ٺهيل هونديون آهن، پر چپس ٺاهڻ جي سڄي عمل کي ڏسندي، وڌيڪ مواد جي ضرورت هوندي آهي، جهڙوڪ فوٽو ريسٽ، پالش ڪرڻ وارو مائع، ٽارگيٽ مواد، خاص گيس وغيره. پٺتي پيل پيڪنگنگ کي پڻ مختلف مواد جي ذيلي ذخيرو، انٽرپوزر، ليڊ فريم، بانڊنگ مواد، وغيره جي ضرورت هوندي آهي. اليڪٽرڪ اسپيشل گيسز سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي خرچن ۾ سلکان ويفرز کان پوءِ ٻئي نمبر تي وڏي مواد آهن، بعد ۾ ماسڪ ۽ فوٽورسسٽ.

گئس جي پاڪائي جزو جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار تي فيصلو ڪندڙ اثر آهي، ۽ گئس جي فراهمي جي حفاظت اهلڪارن جي صحت ۽ ڪارخاني جي آپريشن جي حفاظت سان لاڳاپيل آهي. ڇو گئس جي پاڪائي عمل جي لائن ۽ اهلڪارن تي ايترو وڏو اثر آهي؟ هي هڪ مبالغه نه آهي، پر خود گئس جي خطرناڪ خاصيتن طرفان طئي ڪيو ويو آهي.

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ عام گيس جي درجه بندي

عام گيس

عام گئس کي بلڪ گيس پڻ سڏيو ويندو آهي: اهو صنعتي گيس ڏانهن اشارو ڪري ٿو جنهن ۾ 5N کان گهٽ صفائي جي گهرج ۽ وڏي پيداوار ۽ وڪرو جي مقدار سان. ان کي مختلف تياري جي طريقن جي مطابق هوا جي جداگي گيس ۽ مصنوعي گئس ۾ ورهائي سگهجي ٿو. هائيڊروجن (H2)، نائٽروجن (N2)، آڪسيجن (O2)، آرگن (A2) وغيره؛

خاص گيس

خاص گيس صنعتي گيس ڏانهن اشارو ڪري ٿو جيڪو مخصوص شعبن ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي ۽ پاڪائي، قسم، ۽ ملڪيت لاء خاص گهربل آهي. بنيادي طور تيSiH4PH3، B2H6، A8H3،ايڇ سي ايل, CF4,NH3POCL3، SIH2CL2، SIHCL3،NH3, بي سي ايل 3، SIF4، CLF3، CO، C2F6، N2O، F2، HF، HBR،SF6… ۽ ايئن.

اسپيشل گيس جا قسم

خاص گيس جا قسم: corrosive، toxic، flammable، combustion-supporting، inert، وغيره.
عام طور تي استعمال ٿيندڙ سيمي ڪنڊڪٽر گيسز کي هيٺين ريت ورهايو ويو آهي:
(i) زهريلو/ زهريلو:ايڇ سي ايل、BF3 、WF6 、HBr 、SiH2Cl2 、NH3 、PH3 、Cl2 、بي سي ايل 3…
(ii) ٻرندڙ: H2،CH4،SiH4,PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…
(iii) ٻرندڙ: O2، Cl2، N2O، NF3…
(iv) Inert: N2،CF4C2F6،C4F8،SF6CO2،Ne،Krهن…

سيمي ڪنڊڪٽر چپ جي پيداوار جي عمل ۾، اٽڪل 50 مختلف قسم جا خاص گيس (جنهن کي خاص گيس طور حوالو ڏنو ويو آهي) آڪسائيڊيشن، ڊفيوژن، جمع ڪرڻ، ايچنگ، انجيڪشن، ڦوٽو گرافي ۽ ٻين عملن ۾ استعمال ٿينديون آهن، ۽ مجموعي عمل جا مرحلا سوين کان وڌيڪ آهن. مثال طور، PH3 ۽ AsH3 آئن امپلانٽيشن جي عمل ۾ فاسفورس ۽ آرسنڪ ذريعن طور استعمال ڪيا ويا آهن، F-بنياد گيسز CF4، CHF3، SF6 ۽ هالوجن گيسس CI2، BCI3، HBr عام طور تي ايچنگ جي عمل ۾ استعمال ٿيندا آهن، SiH4، NH3، N2O ۾. جمع ڪرڻ واري فلم جو عمل، F2/Kr/Ne، Kr/Ne ۾ photolithography عمل.

مٿين پهلوئن مان، اسان سمجهي سگهون ٿا ته ڪيتريون ئي سيمي ڪنڊڪٽر گيسون انساني جسم لاءِ نقصانڪار آهن. خاص طور تي، ڪجهه گيس، جهڙوڪ SiH4، خود ٻرندڙ آهن. جيستائين اهي لڪي رهيا آهن، اهي هوا ۾ آڪسيجن سان پرتشدد رد عمل ڪندا ۽ جلڻ شروع ڪندا؛ ۽ AsH3 انتهائي زهر آهي. ڪنهن به معمولي رسيء ماڻهن جي زندگين کي نقصان پهچائي سگھي ٿي، تنهنڪري خاص گيس جي استعمال لاء ڪنٽرول سسٽم جي ڊيزائن جي حفاظت لاء گهرجون خاص طور تي اعلي آهن.

سيمي ڪنڊڪٽرن کي ”ٽي درجا“ حاصل ڪرڻ لاءِ اعليٰ پاڪائي واري گيس جي ضرورت هوندي آهي

گيس جي صفائي

گئس ۾ ناپاڪ ماحول جو مواد عام طور تي گئس جي خالصيت جي سيڪڙو طور ظاهر ڪيو ويندو آهي، جهڙوڪ 99.9999٪. عام طور تي ڳالهائڻ، اليڪٽرانڪ اسپيشل گيسز لاءِ صفائي جي گهرج 5N-6N تائين پهچي ٿي، ۽ اهو پڻ ظاهر ڪيو ويو آهي حجم جي تناسب جي ناپاڪ ماحول جي مواد ppm (حصو في ملين)، ppb (حصو في بلين)، ۽ ppt (حصو في ٽريلين). اليڪٽرڪ سيمڪوڊڪٽر فيلڊ کي خاص گيس جي پاڪائي ۽ معيار جي استحڪام لاءِ سڀ کان وڌيڪ گهرج آهي، ۽ اليڪٽرانڪ خاص گيس جي پاڪائي عام طور تي 6N کان وڌيڪ آهي.

خشڪي

گيس ۾ پاڻيءَ جو سراغ، يا نمي، عام طور تي اوس پوائنٽ ۾ ظاهر ڪيو ويندو آهي، جهڙوڪ فضائي اوس پوائنٽ -70 ℃.

صفائي

گيس ۾ آلودگي واري ذرڙن جو تعداد، µm جي ذري جي سائيز سان ذرڙن جو تعداد، ڪيترا ذرات/M3 ۾ ظاهر ڪيو ويو آهي. دٻيل هوا لاءِ، اهو عام طور تي mg/m3 ۾ ظاهر ڪيو ويندو آهي ناگزير سڪل رهجي، جنهن ۾ تيل جو مواد شامل هوندو آهي.