سيمي ڪنڊڪٽر ويفر فاؤنڊيريز جي پيداوار جي عمل ۾ نسبتاً ترقي يافته پيداواري عملن سان، تقريبن 50 مختلف قسمن جي گيسن جي ضرورت هوندي آهي. گيسن کي عام طور تي بلڪ گيسن ۾ ورهايو ويندو آهي ۽خاص گئسون.

مائڪرو اليڪٽرانڪس ۽ سيمي ڪنڊڪٽر صنعتن ۾ گيسن جو استعمال گيسن جو استعمال هميشه سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ اهم ڪردار ادا ڪيو آهي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر عمل مختلف صنعتن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندا آهن. ULSI، TFT-LCD کان وٺي موجوده مائڪرو اليڪٽروميڪينيڪل (MEMS) صنعت تائين، سيمي ڪنڊڪٽر عملن کي پراڊڪٽ ٺاهڻ جي عملن طور استعمال ڪيو ويندو آهي، جنهن ۾ خشڪ ايچنگ، آڪسائيڊشن، آئن امپلانٽيشن، پتلي فلم جمع ڪرڻ، وغيره شامل آهن.

مثال طور، گھڻا ماڻھو ڄاڻن ٿا ته چپس ريتي مان ٺھيل آھن، پر چپ ٺاھڻ جي پوري عمل کي ڏسندي، وڌيڪ مواد جي ضرورت پوندي آھي، جھڙوڪ فوٽو ريسسٽ، پالش ڪرڻ وارو مائع، ٽارگيٽ مواد، خاص گيس، وغيره ناگزير آھن. بيڪ اينڊ پيڪنگنگ لاءِ مختلف مواد جي سبسٽريٽ، انٽرپوزر، ليڊ فريم، بانڊنگ مواد وغيره جي ضرورت پوندي آھي. اليڪٽرانڪ خاص گيس سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي قيمتن ۾ سلڪون ويفرز کان پوءِ ٻيو نمبر وڏو مواد آھي، ان کان پوءِ ماسڪ ۽ فوٽو ريسسٽ آھن.

گئس جي پاڪائي جو جزو جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار تي فيصلو ڪندڙ اثر آهي، ۽ گئس جي فراهمي جي حفاظت عملي جي صحت ۽ ڪارخاني جي آپريشن جي حفاظت سان لاڳاپيل آهي. گئس جي پاڪائي جو پروسيس لائن ۽ عملي تي ايترو وڏو اثر ڇو آهي؟ هي ڪو وڌاءُ نه آهي، پر اهو گئس جي خطرناڪ خاصيتن جي ڪري طئي ڪيو ويندو آهي.

سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ عام گيسن جي درجه بندي

عام گئس

عام گئس کي بلڪ گئس پڻ سڏيو ويندو آهي: اهو صنعتي گئس ڏانهن اشارو ڪري ٿو جنهن جي پاڪائي جي ضرورت 5N کان گهٽ آهي ۽ پيداوار ۽ وڪرو جو مقدار وڏو آهي. ان کي مختلف تياري جي طريقن جي مطابق هوا جي الڳ ڪرڻ واري گئس ۽ مصنوعي گئس ۾ ورهائي سگهجي ٿو. هائيڊروجن (H2)، نائٽروجن (N2)، آڪسيجن (O2)، آرگن (A2)، وغيره.

خاص گيس

خاص گئس صنعتي گئس ڏانهن اشارو ڪري ٿي جيڪا مخصوص شعبن ۾ استعمال ٿئي ٿي ۽ ان جي پاڪائي، قسم ۽ ملڪيتن لاءِ خاص گهرجون آهن. بنيادي طور تيسي ايڇ 4، پي ايڇ 3، بي 2 ايڇ 6، اي 8 ايڇ 3،ايڇ سي ايل، سي ايف 4،اين ايڇ 3، POCL3، SIH2CL2، SIHCL3،اين ايڇ 3, بي سي ايل 3، SIF4، CLF3، CO، C2F6، N2O، F2، HF، HBR،ايس ايف 6… ۽ ايئن.

اسپيشل گيسن جا قسم

خاص گيسن جا قسم: corrosive، زهريلي، ٻرندڙ، ٻرندڙ، ٻرڻ ۾ مدد ڪندڙ، غير فعال، وغيره.
عام طور تي استعمال ٿيندڙ سيمي ڪنڊڪٽر گيسن کي هيٺ ڏنل طور تي درجه بندي ڪيو ويو آهي:
(i) زنگ آلود/ زهريلو:ايڇ سي ايل、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、بي سي ايل 3...
(ii) ٻرندڙ: H2،سي ايڇ 4،سي ايڇ 4,PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…
(iii) باهه ٻرندڙ: O2، Cl2، N2O، NF3...
(iv) غير فعال: N2،سي ايف 4سي 2 ايف 6،سي 4 ايف 8،ايس ايف 6CO2،Ne،Kr、هو...

سيمي ڪنڊڪٽر چپ جي پيداوار جي عمل ۾، تقريبن 50 مختلف قسم جون خاص گيسون (جن کي خاص گيسون چيو ويندو آهي) آڪسائيڊيشن، ڊفيوژن، ڊيپوزيشن، ايچنگ، انجيڪشن، فوٽوليٿوگرافي ۽ ٻين عملن ۾ استعمال ٿينديون آهن، ۽ عمل جا ڪُل مرحلا سئو کان وڌيڪ هوندا آهن. مثال طور، PH3 ۽ AsH3 آئن امپلانٽيشن جي عمل ۾ فاسفورس ۽ آرسينڪ ذريعن طور استعمال ٿيندا آهن، F-بنياد گيسون CF4، CHF3، SF6 ۽ هالوجن گيسون CI2، BCI3، HBr عام طور تي ايچنگ جي عمل ۾ استعمال ٿينديون آهن، SiH4، NH3، N2O جمع فلم جي عمل ۾، F2/Kr/Ne، Kr/Ne فوٽوليٿوگرافي جي عمل ۾.

مٿين پهلوئن مان، اسان سمجهي سگهون ٿا ته ڪيتريون ئي سيمي ڪنڊڪٽر گيسون انساني جسم لاءِ نقصانڪار آهن. خاص طور تي، ڪجهه گيسون، جهڙوڪ SiH4، پاڻمرادو جلنديون آهن. جيستائين اهي ليڪ ٿينديون، اهي هوا ۾ آڪسيجن سان پرتشدد رد عمل ظاهر ڪنديون ۽ ساڙڻ شروع ڪنديون؛ ۽ AsH3 انتهائي زهر آهي. ڪو به معمولي ليڪج ماڻهن جي زندگين کي نقصان پهچائي سگهي ٿو، تنهن ڪري خاص گيسن جي استعمال لاءِ ڪنٽرول سسٽم ڊيزائن جي حفاظت لاءِ گهرجون خاص طور تي وڌيڪ آهن.

سيمي ڪنڊڪٽرز کي "ٽي درجا" هجڻ لاءِ اعليٰ پاڪائي واري گيسن جي ضرورت هوندي آهي.

گئس جي پاڪائي

گئس ۾ نجاست واري ماحول جو مواد عام طور تي گئس جي پاڪائي جي سيڪڙو طور ظاهر ڪيو ويندو آهي، جهڙوڪ 99.9999٪. عام طور تي، اليڪٽرانڪ خاص گيسن لاءِ پاڪائي جي گهرج 5N-6N تائين پهچندي آهي، ۽ نجاست واري ماحول جي مواد ppm (حصو في ملين)، ppb (حصو في ارب)، ۽ ppt (حصو في ٽريلين) جي حجم تناسب سان پڻ ظاهر ڪئي ويندي آهي. اليڪٽرانڪ سيمي ڪنڊڪٽر فيلڊ ۾ خاص گيسن جي پاڪائي ۽ معيار جي استحڪام لاءِ سڀ کان وڌيڪ گهرجون هونديون آهن، ۽ اليڪٽرانڪ خاص گيسن جي پاڪائي عام طور تي 6N کان وڌيڪ هوندي آهي.

خشڪي

گئس ۾ موجود پاڻيءَ جو مقدار، يا نمي، عام طور تي اوس پوائنٽ ۾ ظاهر ڪئي ويندي آهي، جهڙوڪ ماحولي اوس پوائنٽ -70 ℃.

صفائي

گئس ۾ آلودگي واري ذرڙن جو تعداد، µm جي ذرڙن جي سائيز سان، ڪيترا ذرڙا/M3 ۾ ظاهر ڪيا ويندا آهن. دٻيل هوا لاءِ، اهو عام طور تي ناگزير مضبوط باقيات جي mg/m3 ۾ ظاهر ڪيو ويندو آهي، جنهن ۾ تيل جو مواد شامل آهي.