اسان جي ملڪ جي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۽ پينل انڊسٽري خوشحالي جي اعليٰ سطح کي برقرار رکي ٿي. نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ، پينلز ۽ سيمي ڪنڊڪٽرز جي پيداوار ۽ پروسيسنگ ۾ هڪ لازمي ۽ سڀ کان وڏي مقدار واري خاص اليڪٽرانڪ گئس جي طور تي، هڪ وسيع مارڪيٽ جڳهه رکي ٿو.
عام طور تي استعمال ٿيندڙ فلورين تي مشتمل خاص اليڪٽرانڪ گيسون شامل آهنسلفر هيڪسافلوورائيڊ (SF6)tungsten hexafluoride (WF6)،ڪاربن ٽيٽرافلوورائيڊ (CF4)، ٽرائي فلورو ميٿين (CHF3)، نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3)، هيڪسافلورو ايٿين (C2F6) ۽ آڪٽافلوروپروپين (C3F8). نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3) بنيادي طور تي هائيڊروجن فلورائيڊ-فلورائيڊ گئس هاءِ انرجي ڪيميڪل ليزر لاءِ فلورين ذريعو طور استعمال ڪيو ويندو آهي. H2-O2 ۽ F2 جي وچ ۾ رد عمل توانائي جو اثرائتو حصو (تقريبن 25٪) ليزر تابڪاري ذريعي جاري ڪري سگهجي ٿو، تنهن ڪري HF-OF ليزر ڪيميائي ليزرن ۾ سڀ کان وڌيڪ اميد رکندڙ ليزر آهن.
نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ مائڪرو اليڪٽرانڪس انڊسٽري ۾ هڪ بهترين پلازما ايچنگ گيس آهي. سلڪون ۽ سلڪون نائٽرائڊ ايچنگ لاءِ، نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ ۾ ڪاربن ٽيٽرافلوورائيڊ ۽ ڪاربن ٽيٽرافلوورائيڊ ۽ آڪسيجن جي ميلاپ کان وڌيڪ ايچنگ ريٽ ۽ سليڪٽيوٽي آهي، ۽ ان ۾ مٿاڇري تي ڪا به آلودگي ناهي. خاص طور تي 1.5um کان گهٽ ٿلهي سان انٽيگريٽڊ سرڪٽ مواد جي ايچنگ ۾، نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ ۾ تمام بهترين ايچنگ ريٽ ۽ سليڪٽيوٽي آهي، جيڪا ايچ ٿيل شئي جي مٿاڇري تي ڪو به رهجي نه ڇڏيندي آهي، ۽ اهو هڪ تمام سٺو صفائي ايجنٽ پڻ آهي. نانو ٽيڪنالاجي جي ترقي ۽ اليڪٽرانڪس انڊسٽري جي وڏي پيماني تي ترقي سان، ان جي طلب ڏينهون ڏينهن وڌندي ويندي.
فلورين تي مشتمل خاص گئس جي هڪ قسم جي طور تي، نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3) مارڪيٽ ۾ سڀ کان وڏو اليڪٽرانڪ خاص گئس پراڊڪٽ آهي. اهو ڪمري جي حرارت تي ڪيميائي طور تي غير فعال آهي، آڪسيجن کان وڌيڪ فعال آهي، فلورين کان وڌيڪ مستحڪم آهي، ۽ اعلي درجه حرارت تي سنڀالڻ آسان آهي.
نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ بنيادي طور تي پلازما ايچنگ گيس ۽ ري ايڪشن چيمبر ڪليننگ ايجنٽ طور استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر چپس، فليٽ پينل ڊسپلي، آپٽيڪل فائبر، فوٽووولٽڪ سيلز وغيره جي پيداوار جي شعبن لاءِ موزون آهي.
ٻين فلورين تي مشتمل اليڪٽرانڪ گيسن جي مقابلي ۾، نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ ۾ تيز رد عمل ۽ اعليٰ ڪارڪردگي جا فائدا آهن، خاص طور تي سلڪون تي مشتمل مواد جهڙوڪ سلڪون نائٽرائڊ جي ايچنگ ۾، ان ۾ ايچنگ جي شرح ۽ چونڊ جي شرح وڌيڪ آهي، جيڪا ايچ ٿيل شيءِ جي مٿاڇري تي ڪو به رهجي نه ڇڏيندي آهي، ۽ هڪ تمام سٺو صفائي ايجنٽ پڻ آهي، ۽ اهو مٿاڇري کي آلودگي نه ٿو ڏئي ۽ پروسيسنگ جي عمل جي ضرورتن کي پورو ڪري سگهي ٿو.
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر-26-2024
