عام فلورائن تي مشتمل خاص برقي گيس شامل آهنسلفر hexafluoride (SF6)tungsten hexafluoride (WF6)،ڪاربان tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ۽ octafluoropropane (C3F8).
نانو ٽيڪنالاجي جي ترقي ۽ اليڪٽرانڪس انڊسٽري جي وڏي پيماني تي ترقي سان، ان جي طلب ڏينهون ڏينهن وڌندي ويندي. نائٽروجن ٽرئفلورائڊ، پينلز ۽ سيمڪنڊڪٽرز جي پيداوار ۽ پروسيسنگ ۾ هڪ ناگزير ۽ سڀ کان وڏي استعمال ٿيل خاص اليڪٽرڪ گيس جي طور تي، هڪ وسيع بازار جي جڳهه آهي.
فلورائن تي مشتمل خاص گيس جي هڪ قسم جي طور تي،نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3)سڀ کان وڏي مارڪيٽ جي گنجائش سان اليڪٽرانڪ خاص گئس پيداوار آهي. اهو ڪمري جي حرارت تي ڪيميائي طور تي غير فعال آهي، تيز گرمي پد تي آڪسيجن کان وڌيڪ فعال، فلورائن کان وڌيڪ مستحڪم، ۽ سنڀالڻ آسان آهي. Nitrogen trifluoride بنيادي طور تي پلازما ايچنگ گيس ۽ رد عمل چيمبر جي صفائي جي ايجنٽ طور استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر چپس، فليٽ پينل ڊسپلي، آپٽيڪل فائبر، فوٽووولٽڪ سيلز، وغيره جي پيداوار جي شعبن لاء مناسب آهي.
ٻين فلورائن تي مشتمل برقي گيس جي مقابلي ۾،nitrogen trifluorideتيز ردعمل ۽ اعلي ڪارڪردگي جا فائدا آهن. خاص طور تي سلڪون تي مشتمل مواد جهڙوڪ سلڪون نائٽرائڊ جي ايچنگ ۾، ان ۾ ايچنگ جي شرح ۽ سليڪٽيٽي اعليٰ هوندي آهي، جنهنڪري خارش ٿيل شئي جي مٿاڇري تي ڪو به رهجي نه ويندو آهي. اهو پڻ هڪ تمام سٺو صفائي ايجنٽ آهي ۽ سطح تي ڪو به آلودگي ناهي، جيڪا پروسيسنگ جي ضرورتن کي پورو ڪري سگهي ٿي.
پوسٽ جو وقت: سيپٽمبر-14-2024
