سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ اليڪٽرانڪ خاص گيس - نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ

عام فلورين تي مشتمل خاص اليڪٽرانڪ گيسن ۾ شامل آهنسلفر هيڪسافلوورائيڊ (SF6)tungsten hexafluoride (WF6)،ڪاربن ٽيٽرافلوورائيڊ (CF4)، ٽرائي فلورو ميٿين (CHF3)، نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3)، هيڪسافلورو ايٿين (C2F6) ۽ آڪٽا فلورو پروپين (C3F8).

نانو ٽيڪنالاجي جي ترقي ۽ اليڪٽرانڪس انڊسٽري جي وڏي پيماني تي ترقي سان، ان جي گهرج ڏينهون ڏينهن وڌندي ويندي. نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ، پينلز ۽ سيمي ڪنڊڪٽرز جي پيداوار ۽ پروسيسنگ ۾ هڪ ناگزير ۽ سڀ کان وڏي استعمال ٿيندڙ خاص اليڪٽرانڪ گئس جي طور تي، هڪ وسيع مارڪيٽ جڳهه رکي ٿو.

فلورين تي مشتمل خاص گئس جي هڪ قسم جي طور تي،نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3)اليڪٽرانڪ خاص گئس جي پيداوار آهي جنهن جي مارڪيٽ ۾ سڀ کان وڏي گنجائش آهي. اهو ڪمري جي حرارت تي ڪيميائي طور تي غير فعال آهي، اعلي درجه حرارت تي آڪسيجن کان وڌيڪ فعال، فلورين کان وڌيڪ مستحڪم، ۽ سنڀالڻ ۾ آسان آهي. نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ بنيادي طور تي پلازما ايچنگ گيس ۽ رد عمل چيمبر صفائي ايجنٽ طور استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر چپس، فليٽ پينل ڊسپلي، آپٽيڪل فائبر، فوٽووولٽڪ سيلز وغيره جي پيداوار جي شعبن لاءِ موزون آهي.

ٻين فلورين تي مشتمل اليڪٽرانڪ گيسن جي مقابلي ۾،نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊتيز رد عمل ۽ اعليٰ ڪارڪردگي جا فائدا آهن. خاص طور تي سلڪون تي مشتمل مواد جهڙوڪ سلڪون نائٽرائڊ جي ايچنگ ۾، ان ۾ ايچنگ جي شرح ۽ چونڊ جي شرح وڌيڪ آهي، جيڪا ايچ ٿيل شيءِ جي مٿاڇري تي ڪو به باقي نه ڇڏيندي آهي. اهو پڻ هڪ تمام سٺو صفائي ڪندڙ ايجنٽ آهي ۽ ان ۾ مٿاڇري تي ڪا به آلودگي ناهي، جيڪا پروسيسنگ جي عمل جي ضرورتن کي پورو ڪري سگهي ٿي.