سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيل اليڪٽرانڪ خاص گئس

عام فلورين تي مشتمل خاص برقي گيسن ۾ شامل آهنسلفر هيڪسافورائڊ (SF6)، ٽنگسٽن هيڪسافورائڊ (WF6)،ڪاربان ٽيٽورپورورائڊ (CF4)، trufluloromethane (chf3)، نائٽروجن ٽريلائڊ (سي ايف 3)، هيڪسافلوڪوٽون (سي 3 ايف 8).

NanoTochanogogogy جي ترقي ۽ اليڪٽرانڪس انڊسٽري جي وڏي پيماني تي ترقي، ان جو مطالبو ڏينهن تائين وڌندو. نائٽروجن جي خرابي، جيئن ته پينل ۽ سيميڊوڊرنس جي پيداوار ۽ پروسيسنگ ۾ هڪ بي ترتيب ۽ وڏي برقي گئس جي طور تي، هڪ وسيع مارڪيٽ جي جڳهه آهي.

جيئن فلوورين جي هڪ قسم جي خاص گئس تي مشتمل هجي،نائٽروجن ٽررفورائڊ (اين ايف 3)اليڪٽرانڪ اسپيشل گيس پراڊڪٽ آهي وڏي منڊي جي گنجائش سان. اهو ڪيميائي طور تي ڪمري جي حرارت تي آهي، وڌيڪ گرمي پد تي وڌيڪ گرمي پد تي وڌيڪ فعال آهي، فلورين کان وڌيڪ مستحڪم، ۽ هٿ ڪرڻ آسان. نائٽروجن ٽررفورائڊ بنيادي طور تي پلازما جي چيمبر جي صفائي واري ايجنٽ جي طور تي استعمال ڪيو ويندو آهي، ۽ سيمڪنڊيٽرٽر چپس، فوٽوگرافيائيز، فوٽو ڪاسٽڪ خانا

ٻين فلورين تي مشتمل اليڪٽرانڪ گيسن تي مشتمل آهي،نائٽروجن ٽرفورائڊڇا فاسٽ ردعمل ۽ اعلي ڪارڪردگي جا فائدا آهن. خاص طور تي سلکن تي مشتمل آهي سلکون نائٽ نائٽ نائٽري، ان جي هڪ وڏي شيء جي مٿاڇري تي هڪ اعلي خاڪي واري شرح تي ڪا به ريزيٽي نه آهي. اهو پڻ هڪ تمام سٺي صفائي واري ايجنٽ آهي ۽ سطح تي ڪو به آلودگي ناهي، جيڪو پروسيسنگ جي عمل جي ضرورتن کي پورو ڪري سگهي ٿو.