Tungsten hexafluoride (WF6) هڪ CVD پروسيس ذريعي ويفر جي مٿاڇري تي جمع ڪيو ويندو آهي، ڌاتو جي وچ ۾ ڪنيڪشن جي خندق کي ڀرڻ، ۽ پرتن جي وچ ۾ ڌاتو جي وچ ۾ ڪنيڪشن ٺاهيندي.
اچو ته پهرين پلازما بابت ڳالهايون. پلازما مادي جو هڪ روپ آهي جنهن ۾ بنيادي طور تي آزاد اليڪٽران ۽ چارج ٿيل آئنز شامل آهن. اهو ڪائنات ۾ وڏي پيماني تي موجود آهي ۽ اڪثر ڪري معاملي جي چوٿين رياست طور سمجهيو ويندو آهي. اهو پلازما رياست سڏيو ويندو آهي، جنهن کي "پلازما" پڻ سڏيو ويندو آهي. پلازما ۾ اعلي برقي چالکائي آهي ۽ برقياتي مقناطيسي فيلڊ سان مضبوط ملندڙ اثر آهي. اهو جزوي طور تي آئنائيزڊ گيس آهي، جيڪا اليڪٽران، آئنز، آزاد ريڊيڪل، غير جانبدار ذرات ۽ فوٽون تي مشتمل آهي. پلازما پاڻ هڪ برقي غير جانبدار مرکب آهي جنهن ۾ جسماني ۽ ڪيميائي طور تي فعال ذرات شامل آهن.
سڌي وضاحت اها آهي ته تيز توانائي جي عمل هيٺ، ماليڪيول وين ڊير والز فورس، ڪيميڪل بانڊ فورس ۽ ڪولمب فورس تي غالب اچي ويندو ۽ مڪمل طور تي غير جانبدار بجليءَ جو هڪ روپ پيش ڪندو. ساڳئي وقت، ٻاهران ڏنل اعلي توانائي مٿين ٽن قوتن تي غالب ٿي. فنڪشن، اليڪٽران ۽ آئنز هڪ آزاد حالت پيش ڪن ٿا، جيڪي مصنوعي طور تي مقناطيسي فيلڊ جي ماڊل جي تحت استعمال ڪري سگهجن ٿيون، جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽر ايچنگ پروسيس، CVD پروسيس، PVD ۽ IMP عمل.
اعلي توانائي ڇا آهي؟ نظريي ۾، ٻئي اعلي درجه حرارت ۽ اعلي تعدد آر ايف استعمال ڪري سگھجن ٿيون. عام طور تي ڳالهائڻ، اعلي درجه حرارت حاصل ڪرڻ تقريبا ناممڪن آهي. هي گرمي پد جي گهرج تمام گهڻي آهي ۽ ٿي سگهي ٿو سج جي درجه حرارت جي ويجهو. اهو عمل ۾ حاصل ڪرڻ بنيادي طور تي ناممڪن آهي. تنهن ڪري، صنعت عام طور تي ان کي حاصل ڪرڻ لاء اعلي تعدد آر ايف استعمال ڪري ٿو. پلازما آر ايف 13MHz + تائين پهچي سگھي ٿو.
Tungsten hexafluoride هڪ برقي ميدان جي عمل هيٺ plasmaized آهي، ۽ پوء هڪ مقناطيسي ميدان جي وانپ جمع. W ايٽم سياري جي پنن وانگر آهن ۽ ڪشش ثقل جي عمل هيٺ زمين تي ڪري ٿو. آهستي آهستي، W ايٽمس سوراخن جي ذريعي جمع ڪيا ويندا آهن، ۽ آخرڪار سوراخ ذريعي مڪمل ڀريندا آهن ته جيئن ڌاتو جي وچ ۾ ڪنيڪشن ٺاهي. W ائٽم کي سوراخن جي ذريعي جمع ڪرڻ کان علاوه، ڇا اهي به ويفر جي مٿاڇري تي جمع ڪيا ويندا؟ ها، ضرور. عام طور تي ڳالهائڻ، توهان استعمال ڪري سگهو ٿا W-CMP پروسيس، جنهن کي اسان کي هٽائڻ لاء ميڪيڪل پيسڻ واري عمل کي سڏيو ويندو آهي. اهو ساڳيو آهي جھنڊو استعمال ڪرڻ لاءِ سخت برف کان پوءِ فرش صاف ڪرڻ. زمين تي موجود برف لهي ويندي آهي، پر زمين جي سوراخ ۾ برف رهندي. هيٺ، لڳ ڀڳ ساڳيو.
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر-24-2021
