ٽنگسٽن هيڪسافلوورائيڊ (WF6) هڪ CVD عمل ذريعي ويفر جي مٿاڇري تي جمع ڪيو ويندو آهي، ڌاتو جي انٽر ڪنيڪشن خندقن کي ڀريندو آهي، ۽ پرتن جي وچ ۾ ڌاتو جي انٽر ڪنيڪشن ٺاهيندو آهي.
اچو ته پهرين پلازما بابت ڳالهايون. پلازما مادي جو هڪ روپ آهي جيڪو بنيادي طور تي آزاد اليڪٽران ۽ چارج ٿيل آئنن تي مشتمل آهي. اهو ڪائنات ۾ وڏي پيماني تي موجود آهي ۽ اڪثر ڪري مادي جي چوٿين حالت طور سمجهيو ويندو آهي. ان کي پلازما رياست سڏيو ويندو آهي، جنهن کي "پلازما" پڻ سڏيو ويندو آهي. پلازما ۾ اعلي برقي چالکائي آهي ۽ برقي مقناطيسي ميدان سان مضبوط ملائڻ جو اثر آهي. اهو هڪ جزوي طور تي آئنائيز ٿيل گئس آهي، جيڪو اليڪٽران، آئن، آزاد ريڊيڪل، غير جانبدار ذرڙن ۽ فوٽون تي مشتمل آهي. پلازما پاڻ هڪ برقي طور تي غير جانبدار مرکب آهي جنهن ۾ جسماني ۽ ڪيميائي طور تي فعال ذرات شامل آهن.
سڌي وضاحت اها آهي ته اعليٰ توانائي جي عمل هيٺ، ماليڪيول وان ڊير والز فورس، ڪيميائي بانڊ فورس ۽ ڪولمب فورس تي غالب ايندو، ۽ مجموعي طور تي غير جانبدار بجلي جو هڪ روپ پيش ڪندو. ساڳئي وقت، ٻاهرئين طرف ڏنل اعليٰ توانائي مٿين ٽنهي قوتن تي غالب ايندي آهي. ڪم، اليڪٽران ۽ آئن هڪ آزاد حالت پيش ڪندا آهن، جيڪا مصنوعي طور تي مقناطيسي ميدان جي ماڊليشن تحت استعمال ڪري سگهجي ٿي، جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽر ايچنگ پروسيس، سي وي ڊي پروسيس، پي وي ڊي ۽ آئي ايم پي پروسيس.
اعليٰ توانائي ڇا آهي؟ نظريي ۾، اعليٰ گرمي پد ۽ اعليٰ فريڪوئنسي آر ايف ٻئي استعمال ڪري سگهجن ٿا. عام طور تي، اعليٰ گرمي پد حاصل ڪرڻ تقريبن ناممڪن آهي. هي گرمي پد جي گهرج تمام گهڻي آهي ۽ سج جي گرمي پد جي ويجهو ٿي سگهي ٿي. عمل ۾ اهو حاصل ڪرڻ بنيادي طور تي ناممڪن آهي. تنهن ڪري، صنعت عام طور تي ان کي حاصل ڪرڻ لاءِ اعليٰ فريڪوئنسي آر ايف استعمال ڪندي آهي. پلازما آر ايف 13MHz+ تائين پهچي سگهي ٿو.
ٽنگسٽن هيڪسافلوورائيڊ کي برقي ميدان جي عمل هيٺ پلازما ڪيو ويندو آهي، ۽ پوءِ مقناطيسي ميدان ذريعي بخارات ۾ جمع ڪيو ويندو آهي. W ايٽم سياري جي گوز جي پنن وانگر هوندا آهن ۽ ڪشش ثقل جي عمل هيٺ زمين تي ڪري پوندا آهن. آهستي آهستي، W ايٽم سوراخن ۾ جمع ڪيا ويندا آهن، ۽ آخرڪار سوراخن ذريعي مڪمل طور تي ڀريل هوندا آهن ته جيئن ڌاتو جي وچ ۾ ڳنڍجي سگهي. سوراخن ۾ W ايٽم جمع ڪرڻ کان علاوه، ڇا اهي ويفر جي مٿاڇري تي پڻ جمع ڪيا ويندا؟ ها، ضرور. عام طور تي، توهان W-CMP عمل استعمال ڪري سگهو ٿا، جنهن کي اسان هٽائڻ لاءِ ميڪيڪل پيسڻ وارو عمل سڏين ٿا. اهو ڳري برف کان پوءِ فرش کي صاف ڪرڻ لاءِ جھاڙو استعمال ڪرڻ جي برابر آهي. زمين تي برف صاف ٿي ويندي آهي، پر زمين تي سوراخ ۾ برف رهندي. هيٺ، تقريبن ساڳيو.
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر-24-2021
