ٽنگسٽن هاسفورورائيڊنگ (wf6) سي وي ڊي جي عمل جي سطح تي ويفر جي سطح تي جمع ٿيل آهي، ڌاتوء جي ڪنارن کي ڀرڻ، ۽ تہه جي وچ ۾ ڌاتو جو بندوبست ڪرڻ.
اچو ته پهرين پلازما بابت ڳالهايون. پلازما هڪ خاص طور تي مفت اليڪٽران ۽ چارج ڪيل آئنز تي مشتمل آهي. اهو ڪائنات ۾ وڏي تعداد ۾ موجود آهي ۽ اڪثر ڪري معاملي جي چوٿين رياست طور سمجهيو ويندو آهي. ان کي پلازما رياست کي سڏيو ويندو آهي، "پلازا" کي به سڏيو ويندو آهي. پلازما جي اعلي برقي چالاڪ آهي ۽ برقي مقناطيسي ميدان سان هڪ مضبوط ڪپلنگ اثر آهي. اهو جزوي طور تي آئيونڊس گيس آهي، اليڪٽرانن، آئنز، مفت ريڊيلز، غير جانبدار ذرات، ۽ فوٽون. پلازما پاڻ هڪ برقي طور تي غير جانبدار مرکب آهي جسماني ۽ ڪيميائي فعال ذرات تي مشتمل آهي.
سڌي سنئين وضاحت اهو آهي ته وڏي توانائي جي عمل هيٺ، انوين وين وين وين جي فورس، ڪيميائي بانڊ فورس جو هڪ روپ. ساڳي ئي وقت تي، ٻاهرين ٽن قوتن کان ٻاهر نڪري ويو. فنڪشن، اليڪٽرانڪ ۽ وين هڪ مقناطيسي ميدان جي ماڊرن جي ماڊلز تحت مصنوعي طور تي استعمال ڪري سگهجي ٿو، جهڙوڪ سيميڊوڊڪٽر ڪيڪٽر جو عمل، سي وي ڊي پروسيس.
اعلي توانائي ڇا آهي؟ نظريي ۾، ٻئي اعلي درجه حرارت ۽ اعلي فريڪئنسي آر ايف کي استعمال ڪري سگهجي ٿو. عام طور تي ڳالهائڻ، اعلي درجه حرارت حاصل ڪرڻ تقريبن ناممڪن آهي. هي درجه حرارت جي گهرج تمام گهڻي آهي ۽ سج جي حرارت جي ويجهو ٿي سگهي ٿو. اهو بنيادي طور تي عمل ۾ حاصل ڪرڻ ناممڪن آهي. تنهن ڪري، صنعت عام طور تي ان کي حاصل ڪرڻ لاء عام طور تي تيز فريڪوئنسي آر ايف کي استعمال ڪندو آهي. پلازما آر ايف 13 ايم ايڇز + جيتري تائين پهچي سگهي ٿو.
ٽنگسٽن هيڪسفلورائڊ هڪ برقي ميدان جي عمل هيٺ پلاٽ ڪيو ويو آهي، ۽ پوء هڪ مقناطيسي ميدان طرفان جمع ٿيل آهي. W ايٽم سياري جي گوڏن جي پنن سان گڏ آهن ۽ ڪشش ثقل جي عمل جي تحت زمين تي زوال. آهستي، ڊبليو ايٽمس سوراخ جي ذريعي جمع ڪيا ويا آهن، ۽ آخرڪار سوراخ ذريعي مڪمل طور تي ڀريل سوراخ ذريعي ڀرپور ڀريو ويو آهي. ان کان علاوه ڊبليو ايٽمز کي سوراخ ۾ جمع ڪرڻ کان علاوه، اهي به ويفر جي سطح تي جمع ڪيا ويندا؟ ها، يقينا. عام طور تي ڳالهائيندڙ، توهان W-CMP جو عمل استعمال ڪري سگهو ٿا، جيڪو اسان اهو آهي جيڪو اسان ميڪانياتي پيسنگ جي عمل کي هٽائڻ جو عمل سڏيندا آهيون. اهو سخت برف کان پوء فرش کي پائڻ لاء هڪ جھاز کي استعمال ڪرڻ جهڙو آهي. زمين تي برف و is ي وئي آهي، پر زمين تي سوراخ ۾ برف رهي ٿي. هيٺ، تقريبن ساڳيو.
پوسٽ جو وقت: ڊسمبر 24-2021
