اليڪٽرانڪخاص گيسخاص گيس جي هڪ اهم شاخ آهن. اهي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي لڳ ڀڳ هر لنڪ ۾ داخل ٿين ٿا ۽ اليڪٽرانڪ صنعتن جي پيداوار لاءِ ناگزير خام مال آهن جهڙوڪ الٽرا-وڏي پيماني تي مربوط سرڪٽس، فليٽ پينل ڊسپلي ڊوائيسز، ۽ سولر سيل.

سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي ۾، فلورائن تي مشتمل گيس وڏي پيماني تي استعمال ٿيندا آهن. في الحال، عالمي اليڪٽرانڪ گيس مارڪيٽ ۾، فلورائن تي مشتمل اليڪٽرانڪ گيسز مجموعي طور تي 30 سيڪڙو جي حساب سان آهن. فلورائن تي مشتمل اليڪٽرانڪ گيس خاص اليڪٽرانڪ گيسز جو هڪ اهم حصو آهن برقي معلوماتي مواد جي ميدان ۾. اهي خاص طور تي صفائي جي ايجنٽ ۽ ايچنگ ايجنٽ طور استعمال ڪيا ويندا آهن، ۽ پڻ ڊوپنٽ، فلم ٺاهڻ واري مواد، وغيره جي طور تي استعمال ڪري سگھجن ٿيون. هن آرٽيڪل ۾، ليکڪ توهان کي عام فلورائن تي مشتمل گيس کي سمجهڻ لاء وٺي ويندا.

هيٺيون عام طور تي استعمال ٿيل فلورائن تي مشتمل گيس آهن

نائٽروجن ٽرائيفلورائڊ (NF3): هڪ گيس جو استعمال ٿيل ذخيرو کي صاف ڪرڻ ۽ ختم ڪرڻ لاء، عام طور تي رد عمل جي چيمبرن ۽ سامان جي سطحن کي صاف ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.

سلفر هيڪسافلوورائڊ (SF6): هڪ فلورينيٽنگ ايجنٽ آڪسائيڊ جمع ڪرڻ جي عمل ۾ استعمال ڪيو ويو آهي ۽ انسولائيشن ميڊيا کي ڀرڻ لاءِ انسوليٽنگ گيس جي طور تي.

هائيڊروجن فلورائيڊ (HF): سلکان جي مٿاڇري تان آڪسائيڊز کي هٽائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ۽ سلڪون ۽ ٻين مواد کي ڇڪڻ لاءِ اينچينٽ طور استعمال ڪيو ويندو آهي.

نائٽروجن فلورائڊ (NF): مواد کي ڇڪڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي جهڙوڪ سلڪون نائٽرائڊ (SiN) ۽ ايلومينيم نائٽرائڊ (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) ۽tetrafluoromethane (CF4): فلورائيڊ مواد کي ڇڪڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي جهڙوڪ سلڪون فلورائڊ ۽ ايلومينيم فلورائڊ.

بهرحال، فلورائن تي مشتمل گيسز کي ڪي خاص خطرا آهن، جن ۾ زهر، corrosiveness، ۽ flammability شامل آهن.

زهر

ڪجھ فلورائن تي مشتمل گيسز زهريلي هونديون آهن، جهڙوڪ هائيڊروجن فلورائيڊ (HF)، جن جا بخار جلد ۽ تنفس جي رستي کي انتهائي خارش ۽ انساني صحت لاءِ نقصانڪار هوندا آهن.

خرابي

هائيڊروجن فلورائڊ ۽ ڪجهه فلورائڊ انتهائي corrosive آهن ۽ چمڙي، اکين ۽ سانس جي رستي کي سخت نقصان پهچائي سگهن ٿا.

flammability

ڪجهه فلورائڊ ٻرندڙ هوندا آهن ۽ هوا ۾ آڪسيجن يا پاڻيءَ سان رد عمل ظاهر ڪن ٿا ته جيئن شديد گرمي ۽ زهريلي گيسز کي آزاد ڪري سگهجي، جيڪا باهه يا ڌماڪي جو سبب بڻجي سگهي ٿي.

هاء پريشر جو خطرو

ڪجهه فلورين ٿيل گيسون ڌماڪيدار آهن تيز دٻاء هيٺ ۽ خاص خيال جي ضرورت آهي جڏهن استعمال ۽ ذخيرو ٿيل آهن.

ماحول تي اثر

فلورائن تي مشتمل گيسن جي فضائي حياتيات ۽ GWP قدرن ۾ وڌيڪ آهن، جن جو فضائي اوزون پرت تي تباهي وارو اثر آهي ۽ گلوبل وارمنگ ۽ ماحولياتي آلودگي جو سبب بڻجي سگهي ٿي.

اڀرندڙ شعبن جهڙوڪ اليڪٽرانڪس ۾ گيس جي درخواست کي وڌيڪ تيز ڪرڻ جاري آهي، صنعتي گيس لاء نئين مطالبن جي وڏي مقدار ۾ آڻيندي. ايندڙ ڪجهه سالن ۾ مکيه اليڪٽرڪ حصن جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽرز ۽ ڊسپلي پينلز جي نئين پيداوار جي وڏي مقدار جي بنياد تي، چين ۾ ايندڙ ڪجهه سالن ۾، انهي سان گڏ برقي ڪيميائي مواد جي درآمد جي متبادل لاء مضبوط مطالبن جي بنياد تي، گهريلو اليڪٽرانڪ گيس انڊسٽري ۾ داخل ٿيندي. هڪ اعلي ترقي جي شرح.