اليڪٽرانڪخاص گئسونخاص گيسن جي هڪ اهم شاخ آهن. اهي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي تقريبن هر لنڪ ۾ داخل ٿين ٿا ۽ اليڪٽرانڪ صنعتن جهڙوڪ الٽرا-لارج اسڪيل انٽيگريٽڊ سرڪٽس، فليٽ پينل ڊسپلي ڊوائيسز، ۽ سولر سيلز جي پيداوار لاءِ ناگزير خام مال آهن.

سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي ۾، فلورين تي مشتمل گيسون وڏي پيماني تي استعمال ٿينديون آهن. هن وقت، عالمي اليڪٽرانڪ گيس مارڪيٽ ۾، فلورين تي مشتمل اليڪٽرانڪ گيسون ڪل جو تقريباً 30 سيڪڙو آهن. فلورين تي مشتمل اليڪٽرانڪ گيسون اليڪٽرانڪ معلوماتي مواد جي ميدان ۾ خاص اليڪٽرانڪ گيسن جو هڪ اهم جزو آهن. اهي بنيادي طور تي صفائي جي ايجنٽ ۽ ايچنگ ايجنٽ طور استعمال ٿينديون آهن، ۽ ڊوپنٽ، فلم ٺاهڻ واري مواد وغيره جي طور تي پڻ استعمال ڪري سگهجن ٿيون. هن مضمون ۾، ليکڪ توهان کي عام فلورين تي مشتمل گيسن کي سمجهڻ لاءِ وٺي ويندو.

هيٺ ڏنل عام طور تي استعمال ٿيندڙ فلورين تي مشتمل گيسون آهن

نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3): هڪ گئس جيڪا صفائي ۽ ذخيرن کي هٽائڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي، عام طور تي رد عمل چيمبرن ۽ سامان جي مٿاڇري کي صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي.

سلفر هيڪسافلوورائيڊ (SF6): هڪ فلورينيٽنگ ايجنٽ جيڪو آڪسائيڊ جمع ڪرڻ جي عملن ۾ ۽ موصلي ميڊيا کي ڀرڻ لاءِ موصلي گئس جي طور تي استعمال ٿيندو آهي.

هائيڊروجن فلورائيڊ (HF): سلڪون جي مٿاڇري تان آڪسائيڊ کي هٽائڻ لاءِ ۽ سلڪون ۽ ٻين مواد کي ايچ ڪرڻ لاءِ ايچنٽ طور استعمال ڪيو ويندو آهي.

نائٽروجن فلورائيڊ (NF): سلڪون نائٽرائڊ (SiN) ۽ ايلومينيم نائٽرائڊ (AlN) جهڙن مواد کي ايش ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي.

ٽرائي فلورو ميٿين (CHF3) ۽ٽيٽرافلووروميٿين (CF4): سلڪون فلورائيڊ ۽ ايلومينيم فلورائيڊ جهڙن فلورائيڊ مواد کي ايچ ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

جڏهن ته، فلورين تي مشتمل گيسن جا ڪجهه خطرا آهن، جن ۾ زهر، corrosiveness، ۽ flammability شامل آهن.

زهر

ڪجهه فلورين تي مشتمل گيسون زهريلي هونديون آهن، جهڙوڪ هائيڊروجن فلورائيڊ (HF)، جن جي بخارات چمڙي ۽ سانس جي رستي لاءِ تمام گهڻي تڪليف ڏيندڙ ۽ انساني صحت لاءِ نقصانڪار آهن.

corrosiveness

هائيڊروجن فلورائيڊ ۽ ڪجهه فلورائيڊ تمام گهڻا corrosive آهن ۽ چمڙي، اکين ۽ سانس جي رستي کي سخت نقصان پهچائي سگهن ٿا.

باهه لڳڻ جي صلاحيت

ڪجھ فلورائيڊ ٻرندڙ هوندا آهن ۽ هوا ۾ آڪسيجن يا پاڻي سان رد عمل ڪندي تيز گرمي ۽ زهريلي گئسون ڇڏيندا آهن، جيڪي باهه يا ڌماڪي جو سبب بڻجي سگهن ٿيون.

تيز دٻاءُ جو خطرو

ڪجھ فلورينيٽيڊ گيسون تيز دٻاءُ هيٺ ڌماڪيدار هونديون آهن ۽ استعمال ۽ ذخيرو ڪرڻ وقت خاص خيال جي ضرورت هوندي آهي.

ماحول تي اثر

فلورين تي مشتمل گيسن جو ماحوليات جي عمر ۽ GWP قدر وڌيڪ هوندا آهن، جيڪي ماحول جي اوزون پرت تي تباهي ڪندڙ اثر وجهندا آهن ۽ عالمي گرمي پد ۽ ماحولياتي آلودگي جو سبب بڻجي سگهن ٿا.

اليڪٽرانڪس جهڙن ابھرندڙ شعبن ۾ گئسن جو استعمال وڌيڪ شدت اختيار ڪري رهيو آهي، جنهن سان صنعتي گئسن جي وڏي مقدار ۾ نئين گهرج پيدا ٿي رهي آهي. ايندڙ ڪجهه سالن ۾ چين ۾ مکيه اليڪٽرانڪ حصن جهڙوڪ سيمي ڪنڊڪٽرز ۽ ڊسپلي پينلز جي نئين پيداوار جي صلاحيت جي وڏي مقدار جي بنياد تي، ۽ گڏوگڏ اليڪٽرانڪ ڪيميائي مواد جي درآمد جي متبادل جي مضبوط طلب جي بنياد تي، گهريلو اليڪٽرانڪ گئس انڊسٽري هڪ اعليٰ ترقي جي شرح کي شروع ڪندي.