خشڪ ايچنگ ۾ عام طور تي ڪتب آڻڻ وارا گئسون ڇا استعمال ڪيا ويا آهن؟

سڪل ايچنگ ٽيڪنالاجي اهم عملن مان هڪ آهي. سڪل ايچنگ گئس سيمڪنڊيٽرس ۾ هڪ اهم مواد آهي ۽ هڪ اهم گئس جو هڪ اهم گيس جو ذريعو آهي. ان جي ڪارڪردگي سڌي طرح فائنل پيداوار جي معيار ۽ ڪارڪردگي کي متاثر ڪري ٿي. اهو آرٽيڪل بنيادي طور تي شيئر ڪري ٿو ته عام طور تي خشڪ ايٽچنگ جي عمل ۾ عام طور تي استعمال ٿيل آهن.

فلورين تي ٻڌل گئس: جهڙوڪڪاربان ٽيٽورپورورائڊ (CF4)، هيڪسفلوڪوٽين (C2F6)، tw2floromethane (chfloromhropropropropropropropropropropropropropropropone (c3f8). اهي گئسون موکون ۽ سلڪون ۽ سلکن جو مرڪب حاصل ڪرڻ سان گڏ آبپاشي فلورائيڪل کي موثر طور تي پيدا ڪري سگهن ٿيون، انهي ڪري مادي کي ختم ڪرڻ.

ڪلورين تي ٻڌل گئسون: جهڙوڪ ڪلورين (CL2)،بروون ٽريلرائڊ (BCLL3)۽ سلڪون ٽيٽراچورائڊ (SICl4). ڪلورين تي ٻڌل گئسون ايچنگ جي عمل دوران ڪلورائيڊ آئنز فراهم ڪري سگهن ٿيون، جيڪي شرح ۽ چونڊ کي بهتر ڪرڻ ۾ مدد ڪري سگهن ٿيون.

برومين تي ٻڌل گئس: جهڙوڪ برومين (br2) ۽ برومين اينڊرائيڊ (Ibr). برومين تي ٻڌل گئس ڪجهه ڪچننگ پروسيس ۾ بهتر ۽ خاص مواد ۾ بهتر نموني مهيا ڪري سگھن ٿا، خاص طور تي سلڪون ڪاربائڊ.

نائٽروجن جي بنياد تي ۽ آڪسيجن تي ٻڌل گيسس: جهڙوڪ نائٽروجن ٽرفورائيڊ (اين ايف 3) ۽ آڪسيجن (O2). اهي گيسز عام طور تي چونڊ جي حالت ۾ چونڊ جي عمل کي حل ڪرڻ جي عمل کي حل ڪرڻ جي عمل کي درست ڪرڻ لاء استعمال ڪيا ويندا آهن

اهي گئسون پلازما ايچنگ دوران جسماني اسپٽرنگ ۽ ڪيميائي رد عمل جي ميلاپ جي ميلاپ جو هڪ ميلاپ ۽ ڪيميائي حل ڪرڻ حاصل ڪن ٿا. ايچنگ گئس جو انتخاب ان جي قسم جي مادي جي قسم کي شامل ڪرڻ جي قسم تي آهي، چونڊ ڪرڻ جي ضرورت آهي