خشڪ ايچنگ ۾ عام طور تي استعمال ٿيندڙ ايچنگ گيسون ڪهڙيون آهن؟

خشڪ ايچنگ ٽيڪنالاجي اهم عملن مان هڪ آهي. خشڪ ايچنگ گيس سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ هڪ اهم مواد آهي ۽ پلازما ايچنگ لاءِ هڪ اهم گئس ذريعو آهي. ان جي ڪارڪردگي سڌي طرح آخري پيداوار جي معيار ۽ ڪارڪردگي تي اثر انداز ٿئي ٿي. هي مضمون بنيادي طور تي شيئر ڪري ٿو ته خشڪ ايچنگ جي عمل ۾ عام طور تي استعمال ٿيندڙ ايچنگ گيس ڇا آهن.

فلورين تي ٻڌل گيسون: جهڙوڪڪاربن ٽيٽرافلوورائيڊ (CF4)، هيڪسافلووروٿين (C2F6)، ٽرائيفلووروميٿين (CHF3) ۽ پرفلووروپروپين (C3F8). اهي گيسون سلڪون ۽ سلڪون مرڪبن کي ايچ ڪرڻ وقت مؤثر طريقي سان غير مستحڪم فلورائيڊ پيدا ڪري سگهن ٿيون، ان ڪري مواد کي هٽائڻ حاصل ڪري سگهن ٿيون.

ڪلورين تي ٻڌل گيسون: جهڙوڪ ڪلورين (Cl2)،بوران ٽرائڪلورائڊ (BCl3)۽ سلڪون ٽيٽرا ڪلورائڊ (SiCl4). ڪلورين تي ٻڌل گيسون ايچنگ جي عمل دوران ڪلورائڊ آئن فراهم ڪري سگهن ٿيون، جيڪي ايچنگ جي شرح ۽ چونڊ کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪن ٿيون.

برومين تي ٻڌل گيسون: جهڙوڪ برومين (Br2) ۽ برومين آئيوڊائيڊ (IBr). برومين تي ٻڌل گيسون ڪجهه خاص ايچنگ عملن ۾ بهتر ايچنگ ڪارڪردگي فراهم ڪري سگهن ٿيون، خاص طور تي جڏهن سلڪون ڪاربائيڊ جهڙن سخت مواد کي ايچنگ ڪيو وڃي.

نائٽروجن تي ٻڌل ۽ آڪسيجن تي ٻڌل گيسون: جهڙوڪ نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ (NF3) ۽ آڪسيجن (O2). اهي گيسون عام طور تي ايچنگ جي عمل ۾ رد عمل جي حالتن کي ترتيب ڏيڻ لاءِ استعمال ڪيون وينديون آهن ته جيئن ايچنگ جي چونڊ ۽ هدايت کي بهتر بڻائي سگهجي.

اهي گيسون پلازما ايچنگ دوران جسماني اسپٽرنگ ۽ ڪيميائي رد عمل جي ميلاپ ذريعي مادي جي مٿاڇري جي صحيح ايچنگ حاصل ڪن ٿيون. ايچنگ گيس جو انتخاب ايچنگ ڪرڻ واري مواد جي قسم، ايچنگ جي چونڊ جي گهرجن، ۽ گهربل ايچنگ جي شرح تي منحصر آهي.